超光滑表面是如何检测的？

超光滑表面的表面粗糙度数值极小，常规的金刚石探针接触扫描法精度已无法满足要求；高灵敏度的原子力显微镜(AFM)由于取样视场太小，适用于实验室，而非工业生产检验，目前检测光学元件粗糙度的主流方法是白光干涉法(WLI)。其原理是利用白光干涉测量光程差，获得比传统HeNe激光器干涉仪更精细的表面误差水平，以此来测定超光滑表面的表面粗糙度数值。