超光滑表面是如何加工出来的？

 

传统的抛光加工是一种利用磨料的磨削作用去除表面层的过程，为获得更高精度的表面粗糙度就需要用到更精细的磨料。但当光学元件表面粗糙度Ra达到1nm级别之后，无论用多么细的磨料研磨抛光都会导致光学元件表面产生某种程度的亚表面损伤，从而阻碍光学元件表面粗糙度进一步的改善提升。熔石英光学元件不溶于水，但在抛光过程中会形成一层非晶态的SiO2层，称之为贝尔比层。一旦形成了这种结构，它就能保护熔石英表面不受磨料切削导致亚表面损伤。通过严格控制抛光液的温度和pH值，熔石英光学元件表面在抛光加工中形成结构稳定的贝尔比层，同时精确利用化学反应，加工出的光学元件表面粗糙度Ra可达到0.1nm级别。