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什么是化学机械平坦化抛光液？
化学机械平坦化 (CMP)抛光液（ 浆料）是含有活性化学品和用于化学机械平坦化的微磨粒的液体分散体。
CMP 是一种表面抛光和材料去除工艺，包括化学侵蚀和磨料去除.
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