抛光液_深圳市嘉荣新材料有限公司

抛光液

抛光液是影响化学机械抛光效率和抛光质量的关键因素，一般通过测定材料表面粗糙度（Ra）和去除率（MRR）来评价抛光液性能优良程度。其成分一般包括磨料、氧化剂和其它添加剂，通常根据被抛光材料的物理化学性质及对抛光性能的要求，来选择所需的成分配置抛光液。