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抛光液中的磨料是什么?
抛光液中的磨料是什么?
抛光液中包含的磨料是金属氧化物细粉末,例如氧化铈、氧化铁、氧化铝和氧化硅;这些物质通常通过悬浮在水中来使用。
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半导体化学机械抛光CMP
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