蓝宝石衬底上硅技术本质(S0S)是一个异质外延的过程，即蓝宝石晶圆上生长一层SI薄层S0S隶属CMOS技术中绝缘体衬底上的硅外延技术(S0I)因为与生俱来的耐辐射特性，S0S主要用于航天和军事应用。通常情况下使用的是高纯度人工生长的蓝宝石晶体。通常是由加热分解硅烷，后使之沉淀于蓝宝石衬底上得到硅。SOS的优势在于其极好的电绝缘性可有效防止散电流造成的辐射扩散到附近元件。