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什么是外延片?
外延片(EPI)指的是在衬底上生长出的半导体薄膜,薄膜主要由P型,量子阱,N型三个部分构成。现在主流的外延材料是氮化镓(GaN),衬底材料主要有蓝宝石。硅,碳化硅三种,量子阱般为5个通常用的生产工艺为金属有机物气相外延(MOCVD),这是LED产业的核心部分。
目前在硅衬底上可以做普通外延层,多层结构外延层,超高阻外延层,超厚外延层。
硅外延晶片是用于制造广泛的半导体器件的核心材料,在消费、工业、军事和空间电子学中都有应用。
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