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为什么选嘉荣的粉末用于CMP?
为什么选嘉荣的粉末用于CMP?
我们为CMP提供氧化铈和高纯氧化铝。
二氧化硅抛光通常涉及二氧化铈浆料(STI CMP),其原因如下:
*结晶度
*形状
*颗粒大小
*粒度分布
*相位纯度,高度受控
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什么是CMP工艺?
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如何选择抛光材料?
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