钽酸锂抛光垫


产品品名:钽酸锂抛光垫,铌酸锂抛光垫,CMP晶圆抛光垫,化合物半导体抛光垫

钽酸锂抛光垫是一种高性能、稳定性和可靠性的抛光垫,Ra<0.5nm, TTV<±3% 。可用于各种用途的产品的抛光。由于坚固的垫结构,它在高抛光率、高平整度和长寿命之间取得了平衡。

钽酸锂抛光垫优势:
1. 致密均匀的垫结构保持高抛光稳定性和抛光残留物排出。
2. 有效降低Ra,可同时实现高抛光率和低划痕抛光。
3. 非常适合去除前道工序中的划痕和抛光边缘。
 

 
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