钽酸锂抛光垫是一种高性能、稳定性和可靠性的抛光垫，Ra<0.5nm, TTV<±3% 。可用于各种用途的产品的抛光。由于坚固的垫结构，它在高抛光率、高平整度和长寿命之间取得了平衡。

钽酸锂抛光垫优势：

1. 致密均匀的垫结构保持高抛光稳定性和抛光残留物排出。

2. 有效降低Ra，可同时实现高抛光率和低划痕抛光。

3. 非常适合去除前道工序中的划痕和抛光边缘。