品名：SUBA600 抛光垫、 SUBA 600, SUBA 600 抛光垫、硅片抛光垫、砷化镓抛光垫、磷化铟抛光垫、碳酸锂抛光垫、蓝宝石抛光垫、碳化硅抛光垫、玻璃抛光垫
SUBA 600 是一种高抛光速率、高平坦度、高稳定性可靠性无纺布垫，用于半导体晶片的中抛和精抛制程，可用于硅片、氮化镓、 砷化镓、磷化铟、碳酸锂、碳化硅、玻璃基板、蓝宝石等各种类型的基板。SUBA600系列可根据工艺需求定制尺寸和开槽规格。
SUBA600抛光垫优势：
1.坚固的垫结构可平衡高抛光速率和高平整性长寿命。
2.有效维持基板外周部的形状，可达到高平坦度。
3. 最适合蓝宝石、碳化硅、SiC等基板研磨。
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