氮化镓抛光垫


产品品名:氮化镓抛光垫,CMP抛光垫,碳化硅抛光垫, 化合物抛光垫,半导体抛光垫,Sinmat抛光垫, 硅片抛光垫,晶体抛光垫, 耐强酸氮化镓抛光垫, 耐强碱氮化镓抛光垫, 耐强酸碳化硅抛光垫, 耐强碱碳化硅抛光垫。
氮化镓抛光垫是一种无纺布垫,作为抛光垫表现出高性能、稳定性和可靠性,可用于从硅晶片、玻璃基板、蓝宝石基板到 GaN / SiC 基板的各种类型的基板。以可用于各种用途的广泛产品系列实现理想的抛光效果。由于坚固的垫结构,它在高抛光率、高平整度和长寿命之间取得了平衡。
产品应用: 氮化镓抛光, 碳化硅抛光, CMP抛光, 化合物半导体抛光, 晶体抛光, 硅片抛光
氮化镓抛光垫优势:
1. 耐强碱,耐强酸
2. 致密均匀的垫结构保持高抛光稳定性和抛光残留物排出。
3. 有效降低Ra,可同时实现高抛光率和低划痕抛光。
4. 非常适合去除前道工序中的划痕和抛光边缘。
5. 可有效保持板外圆周的形状,并可实现高平整度。
6. 它是抛光蓝宝石、GaN 和 SiC 等衬底的理想选择。
7. 使用周期长
8. 可按照要求提供抛光垫厚度,尺寸, 开槽

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