品名：JR600抛光垫， 化合物抛光垫，硅片抛光垫，晶圆抛光垫，蓝宝石抛光垫
抛光垫规格：
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品名 |
JR600抛光垫 |
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硬度 |
80 |
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压缩率 |
4.2% |
应用：
硅晶片、玻璃基板、蓝宝石基板到 GaN / SiC 基板的各种类型的基板。
抛光垫优势：
1.由于坚固的垫结构，它在高抛光率、高平整度和长寿命之间取得了平衡。
2. 致密均匀的垫结构保持高抛光稳定性和抛光残留物排出。
3. 有效降低Ra，可同时实现高抛光率和低划痕抛光。
4. 非常适合去除前道工序中的划痕和抛光边缘
5. 可有效保持板外圆周的形状，并可实现高平整度。
6. 它也是抛光蓝宝石、GaN 和 SiC 等衬底的理想选择
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