品名：IC1000抛光垫, ic1000, IC 1000
CMP IC1000聚氨酯垫是化学机械平面化（CMP）的行业标准抛光垫。
IC1000抛光垫是由一种刚性的、微孔的聚氨酯材料制成的。这些特性使IC1000 pad能够提供局部平面化、优异的去除率、低整体非均匀性和低缺陷率。
IC1000 垫与抛光液和调节器有效工作，以优化钨、铜、ILD、STI和多晶硅工艺中的CMP性能。
产品规格：
基材：聚氨酯
保质期：12个月
应用：铍，锗，磷化铟，镍，多晶硅，蓝宝石，碳化硅，钨，硒化锌，铜，ILD，STI
包装信息：
抛光垫是面对面包装的（抛光侧到抛光侧），并密封在一个塑料袋内，以确保在运输过程中的清洁。袋子被粘在盒子的一边，以防止袋子滑倒和损坏衬垫。垫片应始终保持平坦。操作过程中弯曲垫会导致PSA褶皱和释放衬垫过早分层。