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石英玻璃抛光液
品名:石英玻璃抛光液, 氧化铈抛光液,稀土抛光液, cerium polishing slurry
颜色: 白色
成分:氧化铈
规格: 粒度(D50) 0.5μm - 2.0μm。
应用:石英玻璃抛光,K9玻璃抛光等。
产品优势:
光学石英玻璃在抛光(CMP)过程中易出现表面及亚表面损伤和蚀坑等问题, 采用低抛光压力和低磨料体积分数的CMP方法.机械作用是引起表面及亚表面损伤的关键因素,低抛光压力可以有效降低抛光过程中施于晶体表面的机械作用,抛光液中低磨料体积分数既可降低一定的机械作用又可降低由于高磨料体积分数引起的表面沾污.在降低机械作用的基础上,为获得较高的去除速率和较佳的表面质量
。抛光液中的成分同时与玻璃具有物理和化学的作业,提高了石英玻璃的表面质量和抛光效率。
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